Нет товаров

Определить Доставка

0,00 € Итого, к оплате:

Оформить заказ

Товар добавлен в корзину

Количество

Итого, к оплате:

Товаров в корзине: 0. Сейчас в корзине 1 товар.

Стоимость:

Стоимость доставки Определить

Итого, к оплате:

Продолжить покупки Оформить заказ

Меню

Цена снижена! Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие

Увеличить

Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие

Артикул 44257392

Состояние: Новый товар

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены

Подробнее

отправка в течение 12-17 рабочих дней

Отправить другу

Отправить другу

Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены

Получатель: :

Вашего друга зовут ^* :

Адрес электронной почты Вашего друга ^* :

^* Обязательные поля

или Отмена
Печать

Характеристики

Автор	Цветков Юрий Борисович
Переплет	мягкий
Год издания	2018
ISBN	978-5-7038-4864-7
Страниц	124
Формат	23.5x16.5x.7 см

Описание

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.

Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям 'Электроника и наноэлектроника' и 'Наноинженерия'.