Цена снижена! Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения Увеличить

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

34352689

Новый товар

За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела

Подробнее

отправка в течение 12-17 рабочих дней

Цена со скидкой:
13,64 €

-45%

Цена без скидки:
24,80 €

Характеристики

Автор Берлин Евгений Владимирович, Григорьев Валентин Юрьевич
Переплет твердый
Язык издания русский
Год издания 2018
ISBN 978-5-94836-519-0
Страниц 464
Формат 24x17x см
Иллюстрации ч/б иллюстрации

Описание

За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Вам может быть интересно: