Главная > >>>>Ионная и фотонная обработка материалов
Цена снижена! Ионная и фотонная обработка материалов Увеличить

Ионная и фотонная обработка материалов

44118464

Новый товар

Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической

Подробнее

Нет в наличии товара

Цена со скидкой:
110,44 €

-45%

Цена без скидки:
200,80 €

Добавить в избранное

Характеристики

Автор Комаров Фадей Фадеевич
Переплет твердый
Год издания 2022
ISBN 978-985-06-3395-8
Страниц 246
Формат 20.7x14.7x1.7 см

Описание

Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Вам может быть интересно:
Рассылка