Нет товаров

Определить Доставка

0,00 € Итого, к оплате:

Оформить заказ

Товар добавлен в корзину

Количество

Итого, к оплате:

Товаров в корзине: 0. Сейчас в корзине 1 товар.

Стоимость:

Стоимость доставки Определить

Итого, к оплате:

Продолжить покупки Оформить заказ

Меню

Цена снижена! Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Увеличить

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Артикул 04551511

Состояние: Новый товар

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение

Подробнее

Нет в наличии товара

Отправить другу

Отправить другу

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение

Получатель: :

Вашего друга зовут ^* :

Адрес электронной почты Вашего друга ^* :

^* Обязательные поля

или Отмена
Печать

Характеристики

Автор	Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.
Серия	Нанотехнологии
Переплет	твердый
ISBN	978-5-9963-0032-7
Страниц	283
Формат	24.5x17.5x1.6 см

Описание

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.