Reduzierter Preis! Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие Vergrößern

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие

34486737

Neuer Artikel

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию

Mehr Infos

Nicht mehr lieferbar

Rabatt Preis:
25,18 €

-50%

Preis ohne Rabatt:
50,35 €

Auf meine Wunschliste

Technische Daten

Автор Родионов Юрий Анатольевич
Переплет твердый
Язык издания русский
Год издания 2019
ISBN 978-5-9729-0337-5
Страниц 352
Формат 21.5x15.5x2.2 см
Бумага офсетная
Иллюстрации цветные и ч/б иллюстрации

Mehr Infos

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 'Электроника, радиотехника и системы связи', а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Вам может быть интересно: