Keine Artikel

noch festzulegen Versand

0,00 € Gesamt

Warenkorb anzeigen

Produkt wurde in den Korb gelegt

Menge

Gesamt

Sie haben 0 Artikel in Ihrem Warenkorb. Es gibt 1 Artikel in Ihrem Warenkorb.

Gesamt Artikel

Gesamt Versandkosten noch festzulegen

Gesamt

Einkauf fortsetzen Zur Kasse gehen

Menü

Reduzierter Preis! Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Vergrößern

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Artikel-Nr.: 04551511

Zustand: Neuer Artikel

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение

Mehr Infos

Nicht mehr lieferbar

An einen Freund senden

An einen Freund senden

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение

Empfänger :

Name Ihrer/es Freundin/es ^* :

E-Mailadresse Ihres Freundes ^* :

^* Pflichtfelder

oder Abbrechen
Ausdrucken

Technische Daten

Автор	Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.
Серия	Нанотехнологии
Переплет	твердый
ISBN	978-5-9963-0032-7
Страниц	283
Формат	24.5x17.5x1.6 см

Mehr Infos

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.